环球资讯：国产离子注入设备实现28纳米工艺全覆盖
2023-06-30 07:52:11
钛媒体官方
(相关资料图)
6月30日消息，从中国电子科技集团获悉，该集团旗下中电科电子装备集团有限公司已实现离子注入装备28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。
